首页> 中文期刊> 《光学仪器》 >多半波滤光片的过正极法监控

多半波滤光片的过正极法监控

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

通过计算机模拟多半滤光片的膜层控厚过程，分析不同的过正极值方法和过正参数对滤光片光学技术指标和监控成功率的影响。结果表明，过正极值方法有效地抑制了监控信号随机噪声的作用，显著地提高了生产效率。

著录项

来源
《光学仪器》 |1999年第4期|68-73|共6页
作者
廖邦俊; 费书国;
展开▼
作者单位

沈阳仪器仪表工艺研究所;

沈阳仪器仪表工艺研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜物理学;
关键词
多半波滤光片; 膜厚监控; 过正极值法; 计算机模拟;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 多半波滤光片及其设计 [J] . 黄光周 ,刘雄英 ,等 . 真空科学与技术 . 2002,第B12期
2. 多半波滤光片的研究 [J] . 车英 ,刘炯 . 长春光学精密机械学院学报 . 1995,第003期
3. 光控-晶控相结合的膜厚监控法对滤光片膜厚的研究 [J] . 张学典 ,钱研华 ,常敏 . 光子学报 . 2016,第6期
4. 窄带滤光片光学极值法直接监控的光学设计 [J] . 杨聚庆 ,弥谦 . 西安工业大学学报 . 2008,第004期
5. 基于负压力波法的城市天燃气管线远程监控系统 [J] . 颜正恕 . 计算机系统应用 . 2012,第004期
6. 多半波滤光片及其设计 [C] . 黄光周 ,刘雄英 ,于继荣 . 中国真空学会五届三次理事会暨学术会议 . 2001
7. 基于反射波法测试钻孔桩及其施工质量监控的研究 [A] . 郑瑞生 . 2008

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号