直径6英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术通过专家鉴定

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• 来源
  《光学仪器》 |2006年第2期|21-21|共1页
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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 碳C;
• 关键词

  半绝缘砷化镓; 单晶生长技术; 专家鉴定; 中国科学院半导体研究所; 直径; 国际先进水平; 技术指标; 研究成果; 有限公司; 晶片加工;