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测量最佳平表面粗糙度的仪器

         

摘要

制造了测量来自一个标准的和一个检验的反射镜的散射光大小的仪器,并且进行了试验。虽然仪器的数据处理依赖于高斯理论,但我们用非高斯表面也获得了好的结果,这篇报告描述了仪器,它的理论和试验结果。

著录项

  • 来源
    《光学精密工程》 |1977年第5期|48-51|共4页
  • 作者

    扬志中;

  • 作者单位
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
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