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王玉朝; 余才佳; 田蕊; 滕霖;
中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,陕西西安710065;
西北工业大学自动化学院,陕西西安710072;
微机电系统(MEMS); MEMS谐振器; 刚度非线性; 自然谐振频率; 锁相环; 自动增益控制;
机译:通过电刚度拉伸温度补偿的CMOS-MEMS谐振器
机译:减弱达芬奇非线性的MEMS谐振器中通过静电刚度软化抑制温度-频率漂移
机译:MEMS谐振器中非线性刚度的降阶建模
机译:通过硅上锗薄膜的准分子激光退火对高Q MEMS谐振器进行刚度微调
机译:具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计,制造和表征。
机译:完全单片CMOS-MEMS谐振器的热机械噪声表征
机译:用于CMOS-MEMS谐振器表征的可调谐增益跨阻抗放大器
机译:超微晶金刚石微谐振器的机械刚度和耗散
机译:基于二次谐波的表征和驱动方法,可提高品质因数并减小变间隙静电MEMS谐振器中的馈通电流
机译:基于第二谐波的表征和驱动方法,该方法在改变间隙静电电子MEMS谐振器的过程中提高了质量因数并降低了馈通电流
机译:一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
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