反应磁控溅射直接生长绒面结构ZnO：Al-TCO薄膜及其特性研究

陈新亮; 王斐; 耿新华; 黄茜; 张德坤; 魏长春; 张晓丹; 赵颖

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利用反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上直接生长获得了"弹坑状"绒面结构的ZnO:Al-TCO薄膜。通过梯度O2生长(GOG,gradual oxygen growth)方法改善ZnO薄膜的透过率和绒度特性,并且具有较好的电学性能。通过优化实验,GOG方法生长ZnO:Al薄膜(薄膜结构:11.0sccm/10R+9.5sccm/15R)的"弹坑状"特征尺寸为300～500nm,可见光范围透过率达到90%,方块电阻约为4.0Ω/□,电子迁移率为17.4cm2/V-1.s-1。大面积镀制的ZnO:Al具有良好的绒面结构和电学均匀性,可应用于光伏(PV)产业化推广应用。

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来源
《光电子．激光》 |2012年第5期|910-914|共5页
作者
陈新亮; 王斐; 耿新华; 黄茜; 张德坤; 魏长春; 张晓丹; 赵颖;
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作者单位

南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室;

天津300071;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
磁控溅射技术; ZnO薄膜; 绒面结构; 梯度O2生长(GDG); 太阳电池;

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