梯度掺杂生长绒面结构ZnO:B-TCO薄膜及其特性研究

闫聪博; 陈新亮; 耿新华; 张德坤; 魏长春; 张晓丹; 赵颖

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梯度掺杂生长绒面结构ZnO:B-TCO薄膜及其特性研究

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采用新的金属有机化学气相淀积(MOCVD)-ZnO镀膜工艺技术-梯度掺杂技术生长绒面结构。研究ZnO:B-TCO薄膜。结果表明,梯度掺杂技术可有效增加薄膜晶粒尺寸和提高光散射作用。并且,梯度掺杂技术有效地提高了薄膜在近红外区域的光学透过率,有利于应用于宽谱域薄膜太阳电池。生长获得的MOCVD-ZnO薄膜,其薄膜电子迁移率为24 cm2/V,电阻率为2.17×10-3Ω.cm,载流子浓度为1.20×1020cm-3,且在小于1 000 nm波长范围内的平均透过率大于85%。

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来源
《光电子．激光》 |2012年第2期|280-285|共6页
作者
闫聪博; 陈新亮; 耿新华; 张德坤; 魏长春; 张晓丹; 赵颖;
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作者单位

南开大学光电子薄膜器件与技术研究所薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室;

天津300071;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类材料;薄膜物理学;
关键词
金属有机化学气相淀积(MOCVD); 绒面结构ZnO:B薄膜; TCO; 梯度掺杂技术; 薄膜太阳电池;

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