电子束刻蚀分步啁啾相位掩模板的优化

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• 来源
  《光电子．激光》 |2006年第12期|1409-1412|共4页
• 作者

  宁提纲; 裴丽; 刘艳; 谭中伟; 童治; 延凤平; 简水生;

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• 作者单位

  北京交通大学光波技术研究所全光网络与现代通信网教育部重点实验室;

  北京100044;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光刻、掩膜;
• 关键词

  光纤通信; 啁啾光纤光栅(CFBG); 相位掩模板; 分步啁啾; 接缝误差; 时延纹波;