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周灿林; 司书春; 李辉; 雷振坤;
山东大学物理学院;
山东济南250100;
大连理工大学工程力学系;
辽宁大连116024;
相位测量轮廓术(PMP); 相移法; 相位去包裹; 线积分; 泊松方程; 偏导数;
机译:红外干涉测量和相位步进算法,用于测量被GaAs或Si覆盖的组件的三维形貌
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机译:无包裹相位检索及其在干涉测量,3D形状分析和偏转测量中的应用
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机译:将共振力传感器集成到用于基于机器人的三维微装配的无源微抓钳中:设计和建模。
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机译:微空间三维形貌测量仪
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