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新型微电子和光电子材料SiGe／Si异质结构材料的发展

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新型微电子和光电子材料──ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结构材料的发展夏传钺（国家自然科学基金委员会，信息科学部１０００８３）刘安生，郑有斗（北京有色金属研究总院１０００８８）（南京大学物理系２１０００８）近半个世纪半导体的发展表明，硅材料所制备的器件和以硅大规...

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来源
《光电子．激光》 |1995年第6期|321-323333|共4页
作者
砟传钺; 刘安生;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.12;
关键词
锗化硅; 硅; 异质结构; 半导体材料;

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