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离子注入通道波导的制备和分析

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本文报道了B^+离子注入熔融石英玻璃通道波导的制备,并对所制作的通道波导进行分析、测量和计算。

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来源
《光电子．激光》 |1992年第3期|152-157|共6页
作者
石洪军; 范俊清;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN814.05;
关键词
波导; 制造; 离子注入; 测量; 计算;

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