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离子能量; 薄膜; 增强磁控溅射射装置;
机译:用接地耦合场能量分析仪(RFEA)在电感耦合螺旋等离子体中测量的离子速度分布的解释
机译:在非常低的压力下,电感耦合放电中电子能量分布函数对功率沉积和等离子体密度的影响
机译:电感耦合等离子体辅助的等离子体增强反应磁控溅射技术,用于微晶硅薄膜的反应性控制沉积
机译:用延迟场能量分析仪(RFEA)在电感耦合的Helicon等离子体中测量的离子速度分布的解释
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:悬滴式阴极-大气压辉光放电作为引入样品的电感耦合等离子体发射光谱的新方法
机译:AR +和Ti +离子能量分布对电感耦合RF等离子体溅射中RF电感线圈DC自偏置的依赖性。
机译:离子能量分布在氯和三氯化硼的混合物中的电感耦合RF放电中起作用
机译:用于电感耦合等离子体质谱仪的等离子体锥,电感耦合等离子体质谱仪以及制造用于电感耦合等离子体质谱仪的等离子体锥的方法
机译:大面积感应耦合等离子体源,适用于电感耦合等离子体室的射频能量耦合应用
机译:电感耦合等离子体质量分析仪的等离子锥,电感耦合等离子体质量分析仪以及等离子耦合电感质量分析仪的制造方法
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