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远程脉冲射频电感耦合放电等离子体增强原子层沉积装置

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摘要

远程脉冲射频电感耦合放电等离子体增强原子层沉积装置，包括真空系统、远程脉冲等离子体发生系统、前驱体源输运系统、加热系统和计算机控制系统，所述真空系统包括真空反应腔室，所述真空反应腔室上连接有进气管路和真空泵，所述真空反应腔室内设有放置样品的样品台；所述远程脉冲等离子体发生系统包括连接在真空反应腔室上的石英管，所述石英管外绕设有感应线圈，所述感应线圈上依次连接阻抗匹配系统、脉冲射频电源；所述前驱体源输运系统包括连接在进气管路上的前驱体源瓶，所述前驱体源瓶与进气管路的连接管路上设有快速ALD电磁阀；所述计算机控制系统由PLC与计算机组成，所述PLC与加热系统、快速ALD电磁阀、脉冲射频电源连接。

著录项

公开/公告号CN102400113A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-04-04

原文格式PDF
申请/专利权人嘉兴科民电子设备技术有限公司;
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申请/专利号CN201110415942.2
发明设计人万军;饶志鹏;黄成强;陈波;李超波;夏洋;江莹冰;赵珂杰;
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申请日2011-12-14
分类号C23C16/52;C23C16/505;
代理机构浙江杭州金通专利事务所有限公司;
代理人赵芳
地址 314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号JRC大楼A213
入库时间 2023-12-18 04:51:31

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-10-22

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/52 申请公布日:20120404 申请日:20111214

发明专利申请公布后的驳回
2012-06-13

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/52 申请日:20111214

实质审查的生效
2012-04-04

公开

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