退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
蔚晓;
无;
非晶氮化碳膜; APD法; ECR; RF; 等离子体沉积;
机译:沉积气压对表面波微波等离子体化学气相沉积法生长的氢化非晶氮化碳膜性能的影响
机译:氢化非晶氮化碳膜的异丁烷/ N_2脉冲射频磁控等离子体化学气相沉积,用于场发射应用
机译:介电势垒放电等离子体沉积氢化非晶氮化碳膜
机译:通过ECR-等离子体增强苯化学气相沉积制备的非晶碳膜的沉积和蚀刻
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:在室温下通过低频等离子体化学气相沉积法沉积的氢化非晶碳膜
机译:通过高能冲击等离子体沉积产生的结晶和无定形氮化碳膜
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法沉积共形非晶碳膜的方法
机译:等离子体化学气相沉积法处理纳米金刚石/非晶碳复合膜的方法
机译:使用脉冲状ECR等离子体清洁TFT-LCD的基板和高速沉积高质量非晶非晶硅薄膜的装置和方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。