气相沉积润滑和耐磨镀层研究情况调查及对今后工作的建议

徐锦芬; 方嘉宝; 顾则鸣

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一、前言摩擦发生在相对运动的物体表面,因此材料的表面特性与运动副的摩擦学特性关系极大。根据摩擦的粘着理论:摩擦系数与材料的剪切强度成正比,与屈服强度成反比。因此,为了降低摩擦,往往在较硬的底材表面涂（镀）一层剪切强度较低的膜作为润滑剂。这种固体膜润滑剂早已得到了应用,特别是在60年代后期,美国NASA的T.Spelvins成功地研制了MoS2溅射膜。从此开辟了用气相沉积镀层（微米级厚度）作润滑膜的新领域,后

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来源
《化学进展》 |1989年第1期|P.143-161|共19页
作者
徐锦芬; 方嘉宝; 顾则鸣;
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作者单位

中国科学院兰州化学物理研究所;

中国科学院兰州化学物理研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化学;
关键词
气相沉积; 摩擦学特性; 类金刚石碳膜; 固体膜润滑; 剪切强度; 溅射系统; 离子镀; 固体润滑; 磁控溅射; 保持架;

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