用于电子制造的机器人

K．Mathia（著）

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用于电子制造的机器人

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许多电子制造业如硬盘、平板显示器、太阳能产业、纳米技术、微机电系统（MEMS）和制药工业要求在无尘环境中进行生产，本书论述在电子制造中工业洁净室的机器人的设计及应用，书中介绍了工业洁净室机器人的原理和应用，特别是在半导体制造中最苛求的清洁度要求，根据清洁度的要求，洁净室的机器人可分为两类：在环境大气压力下高质量清洁度的“大气机器人”和在各种真空压力下外壳中极端清洁的“真空机器人”。

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来源
《国外科技新书评介》 |2011年第1期|P.20-21|共2页
作者
K．Mathia（著）;
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作者单位

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN873.91;
关键词
电子制造业; 机器人; 工业洁净室; 真空压力; 大气压力; 平板显示器; 太阳能产业; 微机电系统;

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