化学气相沉积金刚石窗的热和电磁性能分析

宋熠; 王晓洁; 吴大俊; 张立元; 汤允迎; 张超

首页> 中文期刊> 《科学技术与工程》 >化学气相沉积金刚石窗的热和电磁性能分析

化学气相沉积金刚石窗的热和电磁性能分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石窗对电子回旋共振加热(electron cyclotron resonance heating,ECRH)系统稳定安全运行有直接的影响。在CVD金刚石窗通过HE11传输模式的情况下,以CVD金刚石为传输线的微波窗片的材料,利用热力学有限元分析软件对输出窗进行了稳态热流固耦合分析和结构静力学分析,得到了最佳的冷却水流速,使CVD金刚石窗片中心温度和热应力最小;得到半径为38 mm,厚度为1.36 mm的CVD金刚石窗片,能承受的最大连续波功率为1 MW左右。然后利用自由空间法测得CVD金刚石窗的介电性能,在中心频点为140 GHz时有较好的介电参数。为ECRH系统CVD金刚石窗高功率测试提供了可靠的理论依据。

著录项

来源
《科学技术与工程》 |2023年第13期|5608-5615|共8页
作者
宋熠; 王晓洁; 吴大俊; 张立元; 汤允迎; 张超;
展开▼
作者单位

中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所;

中国科学技术大学研究生院科学岛分院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微波测量及仪表;
关键词
CVD金刚石窗; 介电性能; 高功率; 热应力;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 3 mm回旋行波管微波等离子体化学气相沉积金刚石输出窗 [J] . 曾旭 ,王峨锋 ,李莉莉 . 强激光与粒子束 . 2014,第11期
2. 化学气相沉积（CVD）金刚石技术及产业分析——21世纪新材料CVD金刚石 [J] . 董长顺 ,玄真武 ,石岩 . 新材料产业 . 2008,第008期
3. 化学气相沉积(CVD)金刚石技术及产业分析——21世纪新材料CVD金刚石 [J] . 董长顺 ,玄真武 ,石岩 . 新材料产业 . 2008,第008期
4. 施加偏压对采用等离子体辅助热丝化学气相沉积法在硬质合金上沉积金刚石/碳化硅/硅化钴复合薄膜的影响 [J] . 王陶 ,蒋春磊 ,唐永炳 . 集成技术 . 2017,第1期
5. 沉积参数对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响 [J] . 孟宪明 ,王凤英 ,黑立富 . 材料科学与工艺 . 2009,第003期
6. 微波等离子体化学气相沉积金刚石输能窗片的研究 [C] . 李莉莉 ,丁明清 ,白国栋 . 中国电子学会真空电子学分会第十八届学术年会暨军用微波管研讨会 . 2011
7. 热丝化学气相沉积金刚石/β--SiC复合多层结构涂层研究 [A] . 袁子尧 . 2021

化学气相沉积金刚石窗的热和电磁性能分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅