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MOCVD生长高质量InGaN/AlGaN MQW紫光LED的研究

         

摘要

本文利用LP MOCVD系统生长了InGaN/AlGaN MQW紫光LED外延片、 并使紫光LED外延的产业化.通过XRD、PL、EL等测试手段对其性能进行表征.结果表明,室温光致发光谱的峰值波长为380-400 nm之间,XRD测试半高宽FWHM为17.34 nm波长均匀性良好.制成的LED管芯,正向电流20mA时,EL测试正向电压Vf小于3.4V,反向电压Vz大于18V,亮度大于1.9mcd,漏电流小于0.02mA.并研究了Al掺杂垒含量对MQW紫光LED发光效率的影响,当Al含量为5%时,得到的多量子阱结构的晶体质量最佳.随着Al含量的继续增加,晶体质量下降和正向电压变小,同时发光效率也降低.

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