重回摩尔定律两大武器：EUV和三五族 成大势所趋

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英特尔在14纳米及10纳米制程推进出现延迟，已影响到处理器推出时程，也让业界及市场质疑：摩尔定律是否已达极限。不过，英特尔仍积极寻求在7纳米时代重回摩尔定律的方法，其中两大武器，分别是被视为重大微影技术世代交替的极紫外光（EUV），以及开始采用包括砷化铟镓（InGaAs）及磷化铟（InP）等三五族半导体材料。

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《半导体信息》 |2016年第2期|P.2-3|共2页
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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类运算器和控制器（CPU）;
关键词
摩尔定律; 武器; EUV; 纳米制程; 半导体材料; 纳米时代; 世代交替; 微影技术;

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