200mm硅单晶抛光片项目通过验收

郑冬冬

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200mm硅单晶抛光片项目通过验收

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正由北京有色金属研究总院承担的"直径200mm硅单晶抛光片高技术产业化示范工程"项目2003年12月19日通过国家验收。该项目是北京有色金属研究总院利用自主知识产权技术,集几十年来在硅材料领域的研究成果和产业化经验,在8英寸硅单晶抛光片技术开发和5英寸、6英寸硅单晶抛光片产业化技术基础上,进一步提高产业化水平,形成了年产8英寸硅单晶抛光片6000万平方英寸的生产能力的生产线。也是我国目前建设成功的第一条可满足0.25μm线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光片生产线。

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来源
《半导体信息》 |2004年第1期|P.34-34|共1页
作者
郑冬冬;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 F426.63;
关键词
抛光片; 硅单晶; 产业化技术; 自主知识产权; 技术开发; 技术产业化; 线宽; 研究成果; 十年;

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