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微米纳米新型微电子器件可靠性技术发展方向研讨

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摘要

介绍了新型微电子器件发展现状和主要技术，分析了微电子器件可靠性技术发展趋势，提出我国半导体器件可靠性技术发展对策和建议。

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来源
《微纳电子技术》 |1998年第2期|1-8|共8页
作者
王长河;
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作者单位

电子工业部第十三研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类可靠性及例行试验;可靠性及例行试验;
关键词
可靠性技术; 失效模式; 失效机理; 微电子器件;

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