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碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测

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摘要

基于参数优化设计了一种电场分布合理的叉指微电极结构,利用光刻技术在ITO表面成功制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极,为微电极制备提供了一种可靠、低成本的制备方法.将这种微电极用于碳纳米管气敏传感器中,并利用氨气对其气敏特性进行测试,结果表明,纳米材料修饰的微电极气敏传感性能得到了明显提高.

著录项

来源
《山东科学》 |2014年第1期|22-26|共5页
作者
冉祥涛; 王成响; 王志;
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作者单位

山东省科学院海洋仪器仪表研究所,山东青岛266001;

山东省科学院海洋仪器仪表研究所,山东青岛266001;

山东省科学院海洋仪器仪表研究所,山东青岛266001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.2;
关键词
光刻; 叉指微电极; 碳纳米管; 传感器;

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