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活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al2O3、ZnO掺杂和In2O3:Mo薄膜的应用(中)

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2实验结果和讨论 2．1阴极和沉积特性典型空心阴极I-V，特性如图2所示，HC中有铜靶块并用氩气作为工作气体。在气流量和放电电流一定时，压强越低需放电电压越高。在给定真空室压强情况下，两个不同气流量的I-V特性很接近，在一定电流下，较高的气流量电压略低一点（注：

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来源
《太阳能》 |2014年第7期|16-1822|共4页
作者
Delahoy A E; Guo S Y; Paduraru C; 范崇治;
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作者单位

清华大学;

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