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新型拉晶炉在硅芯制备中的应用

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摘要

介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯.该种拉晶炉一次性出硅芯数量多,弯曲度可控,表面附着力强,可大幅提高硅芯的生产效率.

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来源
《太阳能》 |2019年第3期|73-75|共3页
作者
王玉亮;
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作者单位

北京北方华创真空技术有限公司;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
硅芯制备; 拉晶炉; 方硅芯; 热场;

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