基于MEMS加工工艺的同轴腔体滤波器设计

王研; 郭晨; 蒋延生; 张安学

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基于MEMS加工工艺的同轴腔体滤波器设计

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为了实现无线电通信系统小型化的需求,文章提出了一种基于MEMS加工工艺的六腔同轴腔体滤波器的设计方案.该设计使用ansoft HFSS完成滤波器模型建立,进一步利用ansoft designer与ansoft HFSS联合仿真,优化并实现滤波器模型设计.结合MEMS加工工艺的特点,尽量简化同轴腔体滤波器结构,并采用方同轴线实现输入输出端口设计.

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来源
《空间电子技术》 |2012年第4期|108-112122|共6页
作者
王研; 郭晨; 蒋延生; 张安学;
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作者单位

西安交通大学电信学院;

西安710049;

长安大学信息工程学院;

西安710064;

西安交通大学电信学院;

西安710049;

西安交通大学电信学院;

西安710049;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
同轴腔体滤波器; MEMS加工工艺; 方同轴线; 联合仿真;

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