氧气分压对反应溅射制备TiO2薄膜带隙的影响

著录项

• 来源
  《光谱学与光谱分析》 |2004年第5期|603-605|共3页
• 作者

  赵青南; 李春领; 刘保顺; 赵修建;

  展开▼
• 作者单位

  武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,湖北,武汉,430070;

  武汉理工大学材料研究与测试中心,湖北,武汉,430070;

  武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,湖北,武汉,430070;

  武汉理工大学材料研究与测试中心,湖北,武汉,430070;

  武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,湖北,武汉,430070;

  武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,湖北,武汉,430070;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 表面现象的物理化学;
• 关键词

  TiO2薄膜; 带隙结构; 氧气分压; 反应溅射; 荧光发射光谱;