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制备高纯石英砂的方法

         

摘要

@@ 石英砂是制备多晶硅和单晶硅的基本原料,应用于半导体技术、太阳能、航天等高科技领域.石英砂的纯度租元素含量直接影响着所制备产品的好坏.传统石英砂的制备工艺为:粗选→破碎→焙烧→水碎→粉碎→除铁→酸浸泡→浮选等工序,最后制成80~100目的产品.这种生产和提纯工艺较简单,不能有效去除石英的包裹杂质、表面杂质以及生产过程中存在的杂质,使得纯度不高,特别是内部对多晶硅有很大影响的硼和磷等,去除效果更差.

著录项

  • 来源
    《技术与市场》 |2009年第11期|93|共1页
  • 作者

    杨圣闯;

  • 作者单位

    山东省平度市香店街办宏伟一路17号,266705;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
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