基于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试仪

颜友钧; 李云飞

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基于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试仪

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阐述了动态非接触式硅片测试仪的原理、组成、功能和特点.从虚拟仪器的原理出发,构建了基于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试平台,它将电容位移传感器测距技术、电涡流传感器体电阻测试技术和红外光脉冲传感器半导体P/N极性测试技术进行有机的融合,不仅模拟了信号发生器、数字示波器、程控电源、数字万用表等测试仪器,而且,还具有数据管理、运动控制、位置检测等功能,能对太阳能电池硅片厚度、电阻率、P/N极性等参数进行高速、精确检测和动态筛选,是光伏产业大规模生产的必备之选.

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来源
《传感器与微系统》 |2010年第3期|59-61|共3页
作者
颜友钧; 李云飞;
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作者单位

苏州市职业大学电子信息工程系,江苏苏州,215104;

苏州大学计算机科学与技术学院,江苏苏州215002;

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正文语种 chi
中图分类调整、测试;
关键词
虚拟仪器; 动态测试; 非接触式测量; 电容传感器; 电涡流传感器;

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