固体模块在真空粗抽控制电路中的应用

著录项

• 来源
  《真空电子技术》 |2003年第1期|45-47|共3页
• 作者

  俞鸣峰; 吴建强; 高宜海; 张生虎;

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• 作者单位

  中国科学院,近代物理研究所,甘肃,兰州,730000;

  中国科学院,近代物理研究所,甘肃,兰州,730000;

  中国科学院,近代物理研究所,甘肃,兰州,730000;

  中国科学院,近代物理研究所,甘肃,兰州,730000;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 电真空排气系统;
• 关键词

  固态模块; 双极化线圈; 锁定状态; 瞬态过程;