机译:在 2 sub> O 3 sub>:h中的区域选择性原子层沉积使用μ等离子打印机进行局域激活
机译:使用电感耦合等离子体聚合的碳氟化合物层的区域选择性原子层沉积:金属氧化物的案例研究
机译:通过集成原子层沉积和原子层蚀刻在TiO_2区域选择性沉积期间反应剂量对抗体的影响
机译:面积选择性沉积通过有机膜钝化和原子层沉积的组合
机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
机译:二维区域选择性原子层沉积WS2纳米层
机译:区域选择性原子层IN2O3:H使用等离子打印机进行局部区域激活