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【24h】

Development of a ToF version of the desktop MiniSIMS utilising a continuous primary ion beam

机译：利用连续的主离子束开发ToF版本的桌面MiniSIMS

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The Millbrook MiniSIMS remains a unique concept in SIMS instrumentation. An upgraded version of the MiniSIMS based on a time-of-flight (ToF) mass spectrometer has now been developed. Unlike the vast majority of ToFSIMS instruments, the ToF MiniSIMS uses a continuous primary ion beam and a pulsed secondary ion beam. The instrument has the usual ToF attributes of parallel mass detection, extended mass range and higher mass resolution, but also features a high duty cycle. The result is very fast data acquisition, especially in imaging mode. Moreover, in depth profiling, a continuous beam allows all sputtered material to contribute to the analysis by eliminating the requirement for cycling between etching and analysis modes. The combination of a ToF spectrometer and a continuous primary beam is thus ideally suited to the MiniSIMS concept of a high-throughput instrument able to acquire spectra, images and depth profiles. The higher performance opens up new applications for the MiniSIMS instrument in the identification of organic materials and small area analysis, especially for materials with largely unknown composition or depth distribution. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.
机译：Millbrook MiniSIMS在SIMS仪器中仍然是一个独特的概念。现在已经开发出基于飞行时间（ToF）质谱仪的MiniSIMS的升级版。与绝大多数ToFSIMS仪器不同，ToF MiniSIMS使用连续的一次离子束和脉冲的二次离子束。该仪器具有通常的ToF属性，包括平行质量检测，扩展的质量范围和更高的质量分辨率，而且具有高占空比。结果是非常快速的数据采集，尤其是在成像模式下。此外，在深度剖析中，连续光束通过消除对蚀刻和分析模式之间循环的要求，允许所有溅射材料对分析做出贡献。因此，ToF光谱仪和连续的主光束的组合非常适合于MiniSIMS概念，即能够获取光谱，图像和深度剖面的高通量仪器。更高的性能为MiniSIMS仪器开辟了新的应用领域，可用于有机材料的识别和小面积分析，尤其是对于成分或深度分布很大程度上未知的材料。 （c）2006 Elsevier B.V.保留所有权利。

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