• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Applied Surface Science >Cation Mass Spectrometer (CMS): recent developments for quantitative analyses of positive and negative secondary ions
【24h】

Cation Mass Spectrometer (CMS): recent developments for quantitative analyses of positive and negative secondary ions

机译：阳离子质谱仪（CMS）：正负二次离子定量分析的最新进展

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

The Cation Mass Spectrometer (CMS) has been developed in our laboratory to perform quantitative measurements with an optimal sensitivity and excellent depth and lateral resolution. For positive secondary ions, the MCs_x~+ mode has been used to circumvent the problems linked to the matrix effect by decoupling the Cs surface concentration from the sputtering conditions, so that an optimal Cs surface concentration is guaranteed and permits one to obtain high sensitivity. Similarly, flooding the sample surface with Cs lowers the work function and permits high useful yields for negative secondary ions. To obtain these performances, a patented neutral Cs deposition column is used for Cs surface concentration control in combination with a surface ionisation Cs~+ gun for the sputtering of depth profiles or a Ga~+ LMIS for imaging.
机译：阳离子质谱仪（CMS）是在我们的实验室中开发的，能够以最佳灵敏度，出色的深度和横向分辨率进行定量测量。对于正的次级离子，MCs_x〜+模式已用于通过将Cs表面浓度与溅射条件解耦来避免与基体效应有关的问题，从而确保了最佳的Cs表面浓度，并使人们可以获得很高的灵敏度。同样，用Cs充满样品表面会降低功函数，并允许负二次离子具有较高的有用产率。为了获得这些性能，将获得专利的中性Cs沉积柱与表面离子化Cs〜+喷枪（用于深度分布的溅射）或Ga〜+ LMIS进行成像一起，用于Cs表面浓度控制。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号