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Optimal design of an electrostatically actuated microbeam for maximum pull-in voltage

机译：静电驱动微束的最佳设计，可实现最大吸合电压

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We consider optimizing the shape of a capacitive micro-beam for maximum pull-in voltage. The problem is discret-ized using finite elements. The normal flow algorithm is used to trace the nonlinear voltage displacement curve and find the pull-in point. Optimal width and thickness distributions are obtained for different beam boundary conditions using a resizing scheme based on optimality criterion. The results indicate that substantial increase in pull-in voltage can be achieved by varying the width and/or thickness distribution.
机译：我们考虑优化电容性微束的形状，以获得最大的引入电压。使用有限元将问题离散化。法向流算法用于跟踪非线性电压位移曲线并找到引入点。使用基于最佳准则的调整大小方案，可以针对不同的束边界条件获得最佳的宽度和厚度分布。结果表明，通过改变宽度和/或厚度分布可以实现拉入电压的大幅提高。

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