Digital Holographic Microscopy for MEMS/MOEMS Device Inspection and Complete Characterization

G. M. Hegde; Vijay Raj Singh; Anand Asundi

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Digital Holographic Microscopy for MEMS/MOEMS Device Inspection and Complete Characterization

机译：用于MEMS / MOEMS器件检查和完整表征的数字全息显微镜

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Digital holography became feasible since the availability of charged coupled devices (CCDs) with smaller pixel sizes, higher pixel numbers and high speed computers. Fresnel or Fourier holograms are recorded directly by the CCD and stored digitally in the

机译：由于具有较小像素尺寸，较高像素数量和高速计算机的电荷耦合器件（CCD）的可用性，数字全息术变得可行。菲涅耳或傅立叶全息图直接由CCD记录，并以数字方式存储在

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来源
《Journal of the Indian Institute of Science》 |2013年第1期|共20页
作者
G. M. Hegde; Vijay Raj Singh; Anand Asundi;
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正文语种
中图分类自然科学总论;
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