• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Technisches Messen: Sensoren, Gerate, Systeme >Digital Holographic Microscopy for Comparative Metrology in Micro-Optics and MOEMs
【24h】

Digital Holographic Microscopy for Comparative Metrology in Micro-Optics and MOEMs

机译：数字全息显微技术，用于微光学和MOEM中的比较计量

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Digital holographic microscopy (DHM) is an imaging technique, which can be applied to the visualisation and metrology of microscopic objects. It has been established in the frame of the DISCO project that DHM can be considered as an efficient method for direct comparison of the shape or deformations of two objects. "Comparison DHM" allows a straight comparison with a gauge provided by a manufacturer or customer. The phase subtraction between ideal and actual wavefront of the object provides data equivalent to those given by a Twyman-Green or a Mach-Zehnder interferometer.
机译：数字全息显微镜（DHM）是一种成像技术，可以应用于微观对象的可视化和计量。在DISCO项目的框架中已确定DHM可被视为直接比较两个物体的形状或变形的有效方法。 “ Comparison DHM”可以与制造商或客户提供的量规进行直接比较。对象的理想波阵面与实际波阵面之间的相减提供的数据与Twyman-Green或Mach-Zehnder干涉仪给出的数据等效。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号