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Digital Holographic Microscopy (DHM) for metrology and dynamic characterization of MEMS and MOEMS

机译：数字全息显微镜（DHM）用于MEMS和MOEMS的计量和动态表征

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Digital Holographic Microscopes (DHM) enables recording the whole information necessary to provide real time nanometric vertical displacement measurements with a single image acquisition. The use of fast acquisition camera or stroboscopic acquisition mode makes these new systems ideal tools for investigating the topography and dynamical behavior of MEMS and MOEMS. This is illustrated by the investigation of resonant frequencies of a dual axis micro-mirror. This enables the definition of the linear, non-linear, and modal resonance zones of its dynamical response.
机译：数字全息显微镜（DHM）能够记录必要的全部信息，从而通过一次图像采集即可提供实时的纳米垂直位移测量。快速采集相机或频闪采集模式的使用使这些新系统成为调查MEMS和MOEMS的拓扑和动态行为的理想工具。通过研究双轴微镜的谐振频率可以说明这一点。这样就可以定义其动态响应的线性，非线性和模态共振区域。

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