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Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining
Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining
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1.
Microspectroscopy with terahertz bioMEMS
机译:
与太赫兹生物镜头的微型光谱检查
作者:
Tahsin Akalin
;
Anthony Treizebr
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Terahertz;
BioMEMS;
Microfluidic;
Living cell;
Goubau mode;
Microspectroscopy;
Surface wave;
2.
The distorted helix : Thin film extraction from scanning white light interferometry
机译:
扭曲的螺旋:薄膜提取扫描白光干涉测量
作者:
Daniel Mansfield
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
SWLI;
PCOR;
thin films;
step-height;
3.
Fresnel Lenses: study and fabrication in silicon technology for medium-IR applications
机译:
菲涅耳透镜:中红外IR应用中硅技术的研究和制造
作者:
Jordi Fonollosa
;
Rafael Rubio
;
Juergen Hildenbrand
;
Mauricio Moreno
;
Santiago Marco
;
Joaquin Santander
;
Luis Fonseca
;
Susane Hartwig
;
Jurgen Woellenstein
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
fresnel lens;
microoptics;
silicon technology;
optical gas sensor;
4.
Application of a Micromachined Translatory Actuator to an optical FTIR Spectrometer
机译:
将微机械的转移致动器应用于光学FTIR光谱仪的应用
作者:
Andreas Kenda
;
Christian Drabe
;
Harald Schenk
;
Albert Frank
;
Martin Lenzhofer
;
Werner Scherf
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
MOEMS;
translatory micro mirror;
FTIR spectrometer;
michelson interferometer;
infrared spectrometry;
5.
Microspectroscopy with Terahertz BioMEMS
机译:
与太赫兹生物镜头的微型光谱检查
作者:
Tahsin Akalin
;
Anthony Treizebre
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
terahertz;
biomems;
microfluidic;
living cell;
goubau mode;
microspectroscopy;
surface wave;
6.
Application of a micromachined translatory actuator to an optical FTIR spectrometer
机译:
将微机械的转移致动器应用于光学FTIR光谱仪的应用
作者:
Andreas Kenda
;
Christian Drabe
;
Harald Schenk
;
Albert Frank
;
Martin Lenzhofer
;
Werner Scherf
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
MOEMS;
translatory micro mirror;
FTIR spectrometer;
Michelson interferometer;
infrared spectrometry;
7.
Engineering and Characterization of Ferroelectric Microstructures for Photonic Crystal Applications
机译:
光子晶体应用铁电微观结构的工程与表征
作者:
Simonetta Grilli
;
Pietro Ferraro
;
Lucia Sansone
;
Melania Paturzo
;
Sergio De Nicola
;
Andrea Finizio
;
Giovanni Pierattini
;
Paolo De Natale
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
lithium niobate;
electro-optical materials;
photonic crystals;
8.
Low power, high extinction electrothermal MEMS iris VOA
机译:
低功率,高消光电热MEMS IRIS VOA
作者:
Veladi H.
;
Syms R.R.A
;
Zou H.
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
9.
Low power high extinction electrothermal MEMS iris VOA
机译:
低功率高消光电热MEMS IRIS VOA
作者:
H. Veladi
;
R. R. Syms
;
H. Zou
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
10.
Tunable mechanical resonator with aluminum nitride piezoelectric actuation
机译:
具有氮化铝压电致动的可调谐机械谐振器
作者:
J. Olivares
;
J. Malo
;
S. Gonzalez
;
E. Iborra
;
I. Izpura
;
M. Clement
;
A. Sanz-Hervas
;
J.L. Sanchez-Rojas
;
P. Sanz
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
aluminum nitride;
piezoelectric actuation;
microresonator;
simulation;
11.
MEMS based sensor and method for optical detection of peptides bio-reaction time
机译:
基于MEMS基于肽生物反应时间的光学检测方法
作者:
Amritsar Jeetender
;
Ion Stiharu
;
Muthukumaran Packirisamy
;
Vahe Nerguizian
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
micro electro mechanical systems (MEMS) sensor;
optical detection;
peptides;
BioMEMS;
reaction signature;
12.
Appearance of a Moore's law in MEMS? Trends affecting the MNT supply chain
机译:
Mems的摩尔法的出现? 影响MNT供应链的趋势
作者:
Henne van Heeren
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
roadmap;
MST;
MEMS;
packaging;
processing;
high volume electronics;
monolithic;
hybrid;
13.
MEMS-based sensor and method for optical detection of peptides bio-reaction time
机译:
基于MEMS的传感器和用于光学检测肽生物反应时间的方法
作者:
Amritsar Jeetender
;
Ion Stiharu
;
Muthukumaran Packirisamy
;
VahNerguizian
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Micro Electro Mechanical Systems sensor;
optical detection;
petides;
BioMEMS;
reaction signature;
14.
Active focusing device based on MOEMS technology
机译:
基于MoEMS技术的主动聚焦装置
作者:
Ulrich Mescheder
;
Zoltan Torok
;
Wolfgang Kronast
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
MOEMS;
electrostatic focusing device;
parabolic shape;
FEM simulation;
SOI;
15.
Appearance of a Moore's law in MEMS? Trends affecting the MNT supply chain
机译:
Mems的摩尔法的出现? 影响MNT供应链的趋势
作者:
Henne van Heeren
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
roadmap;
MST;
MEMS;
packaging;
processing;
high volume electronics;
monolithic;
hybrid;
16.
Optical MEMS reliability in Space Environment
机译:
空间环境中的光学MEMS可靠性
作者:
S. Rigaud
;
G. Quadri
;
O. Gilard
;
J.M. Nicot
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
optical microswitch;
MOEMS;
MEMS;
gamma radiation;
proton;
neutron;
vacuum;
space environment;
telecommunications satellite pay loads;
17.
Silicon-on-insulator microphotonic devices
机译:
绝缘体上硅片微量芯片装置
作者:
Laurent Vivien
;
Eric Cassan
;
Delphine Marris-Morini
;
Sylvain Maine
;
Mathieu Rouviere
;
Jean-Francois Damlencourt
;
Jean-Marc Fedeli
;
Anatole Lupu
;
Daniel Pascal
;
Xavier Le Roux
;
Suzanne Laval
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
microphotonic devices;
silicon on insulator;
optical waveguides;
optical interconnects;
optical modulator;
germanium photodetector;
18.
Digital holographic microscopy (DHM) for metrology and dynamic characterization of MEMS and MOEMS
机译:
数字全息显微镜(DHM)用于MEMS和MEMS的计量和动态特征
作者:
Yves Emery
;
Etienne Cuche
;
Franis Marquet
;
Nicolas Aspert
;
Pierre Marquet
;
Jonas Kn Mikhail Botkine
;
Tristan Colomb
;
Frederic Montfort
;
Florian Charrie
;
Christian Depeursinge
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Digital Holography Microscopy;
MEMS;
MOEMS;
real time 3D optical topography;
19.
Digital Holographic Microscopy (DHM) for metrology and dynamic characterization of MEMS and MOEMS
机译:
数字全息显微镜(DHM)用于MEMS和MEMS的计量和动态特征
作者:
Yves Emery
;
Etienne Cuche
;
Francois Marquet
;
Nicolas Aspert
;
Pierre Marquet
;
Jonas Kuehn
;
Mikhail Botkine
;
Tristan Colomb
;
Frederic Montfort
;
Florian Charriere
;
Christian Depeursinge
;
Patrick Debergh
;
Ramiro Conde
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
digital holography microscopy;
MEMS;
MOEMS;
real time 3D optical topography;
20.
Integrating photonic and microfluidic structures on a device fabricated using proton beam writing
机译:
将光子和微流体结构集成在使用质子梁写入制造的装置上
作者:
A. A. Bettiol
;
E. J. Teo
;
C. N. Udalagama
;
S. Venugopal Rao
;
J. A. van Kan
;
P. G. Shao
;
F. Watt
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
proton beam writing;
glass;
waveguides;
microfluidics;
21.
Parallel atomic force microscopy using optical heterodyne detection
机译:
使用光学外差检测的并联原子力显微镜
作者:
Laura Chantada
;
Myun-Sik Kim
;
Omar Manzardo
;
Omar Manzardo
;
Laure Aeschimann
;
Urs Staufer
;
Peter Vettiger
;
Kenneth Weible
;
Hans Peter Herzig
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Atomic force microscopy4aheterodyne detection;
interfermeter;
22.
Parallel Atomic Force Microscopy using Optical Heterodyne Detection
机译:
使用光学外差检测的并联原子力显微镜
作者:
Laura Chantada
;
Myun-Sik Kim
;
Omar Manzardo
;
Rene Daendliker
;
Laure Aeschimann
;
Urs Staufer
;
Peter Vettiger
;
Kenneth Weible
;
Hans Peter Herzig
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
atomic force microscopy;
heterodyne detection;
interferometer;
23.
A 2D MEMS stage for optical applications
机译:
用于光学应用的2D MEMS级
作者:
Caglar Ataman
;
Yves Petremand
;
Wilfried Noell
;
Hakan ey
;
Marc Epitaux
;
Nico F. de Rooij
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
2D platform;
comb actuator;
beam steerng;
micor-optics;
24.
A 2D MEMS Stage for Optical Applications
机译:
用于光学应用的2D MEMS级
作者:
Caglar Ataman
;
Yves Petremand
;
Wilfried Noell
;
Hakan Urey
;
Marc Epitaux
;
Nico F. de Rooij
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
2D platform;
comb actuator;
beam steering;
micro-optics;
25.
A large deflection translatory actuator for optical path length modulation
机译:
用于光路长度调制的大型偏转平移致动器
作者:
Christian Drabe
;
Thomas Klose
;
Harald Schenk
;
Alexander Wolter
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Micro Mirror;
Fourier Transform Spectroscopy;
FTIR;
26.
A Large Deflection Translatory Actuator for Optical Path Length Modulation
机译:
用于光路长度调制的大型偏转平移致动器
作者:
Christian Drabe
;
Thomas Klose
;
Harald Schenk
;
Alexander Wolter
;
Hubert Lakner
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
micro mirror;
fourier transform spectroscopy;
FTIR;
27.
Tunable Fabry-Perot filters operating in the 3 to 5 μm range for infrared micro-spectrometer applications
机译:
可调谐法布里 - 珀罗过滤器在3至5μm范围内,用于红外微谱仪应用
作者:
Jaroslaw Antoszewski
;
Adrian Keating
;
Kevin Winchester
;
Thuyen Nguyen
;
Dilusha Silva
;
Charles Musca
;
John Dell
;
Olivia Samardzic
;
Lorenzo Faraone
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
IR micro-filters;
fabry-perot filters;
micro-spectrometers;
IR sensors;
28.
xTunable Fabry-Perot filters operating in the 3 to 5 μm range for infrared micro-spectrometer applications
机译:
Xtunable Fabry-Perot过滤器在3至5μm范围内运行的红外微光谱仪应用
作者:
Jaroslaw Antoszewski
;
Adrian Keating
;
Kevin Winchester
;
Thuyen Nguyen
;
Dilusha Silva
;
Charles Musca
;
John Dell
;
Samardzic
;
Lorenzo Faraone
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
IR micro-filters;
Fabry-Perot filters;
micro-spectrometers;
IR sensors;
29.
New generation of fully integrated optical microscopes on-chip: application to confocal microscope
机译:
新一代芯片上的完全集成光学显微镜:应用于共聚焦显微镜
作者:
Sylwester Bargiel
;
Lukasz Nieradko
;
Michal Jwik
;
Christophe Gorecki
;
Jan A. Dziuban
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Scanning Confocal Microscope;
MOEMS;
electrostatic actuation4asilicon micromachining;
glass microlens VCSEL;
optical feedback;
30.
New generation of fully integrated optical microscopes on-chip: application to confocal microscope
机译:
新一代芯片上的完全集成光学显微镜:应用于共聚焦显微镜
作者:
Sylwester Bargiel
;
Lukasz Nieradko
;
Michal Jozwik
;
Christiophe Gorecki
;
Jan A. Dziuban
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
scanning confocal microscope;
MOEMS;
electrostatic actuation;
silicon micromachining;
glass microlens vcsel;
optical feedback;
31.
Management and Verification for MEMS Fabrication Processes
机译:
MEMS制造过程的管理和验证
作者:
T. Schmidt
;
D. Ortloff
;
K. Hahn
;
A. Wagener
;
J. Popp
;
R. Brueck
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
TCAD;
MEMS;
process management;
process design;
process verification;
32.
Management and verification for MEMS fabrication processes
机译:
MEMS制造过程的管理和验证
作者:
T. Schmidt
;
D. Ortloff
;
K. Hahn
;
A. Wagener
;
J. Popp
;
R. Brk
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
TCAD;
MEMS;
process management;
process design;
process verification;
33.
Noise in MgB2 thin film: a candidate material for space-borne infrared detector development
机译:
MGB2薄膜中的噪音:空间红外探测器开发的候选材料
作者:
B. Lakew
;
S. Aslam
;
H. Jones
;
B. Moeckly
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
34.
Noise in MgB_2 thin film- a candidate material for space-borne infrared detector development
机译:
MGB_2薄膜噪声 - 用于空间红外探测器开发的候选材料
作者:
B.Lakew
;
S. Aslam
;
H. Jones
;
B. Moeckly
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
35.
A MEMS Based Visible-NIR Fourier Transform Microspectrometer
机译:
基于MEMS的可见NIR傅里叶变换微旋光器
作者:
C. Ataman
;
H. Urey
;
S.O. Isikman
;
A. Wolter
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
comb actuation;
fourier transform spectroscopy;
MEMS;
diffraction grating;
36.
Risk mitigation in Spaceborne Lasers
机译:
太空载激光器的风险缓解
作者:
Yngve Lien
;
Elmar Reinhold
;
Denny Wernham
;
Martin Endemann
;
Michael Jost
;
Errico Armandillo
;
Wolfgang Riede
;
Helmut Schroeder
;
Paul Allenspacher
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
37.
MEMS microdisplays: overview and markets
机译:
MEMS MicroDisplays:概述和市场
作者:
Jie Bouchaud
;
Olivier Nowak
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
38.
A MEMS based visible-NIR Fourier transform microspectrometer
机译:
基于MEMS的可见NIR傅里叶变换微旋光器
作者:
C. Ataman
;
H. Urey
;
S. O. Isikman
;
A. Wolter
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Comb actuation;
Fourier transform spectroscopy;
MEMS;
diffraction grating;
39.
The Influences of Thickness on Piezoresistive Properties of Poly-Si Nanofilms
机译:
厚度对多Si纳米叶片压阻性能的影响
作者:
Xiaowei Liu
;
Rongyan Chuai
;
Minghao Song
;
Huiyan Pan
;
Xiaowei Xu
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
poly-Si;
nanofilm;
piezoresistive effect;
tunnel effect;
piezoresistive model;
gauge factor;
film thickness;
grain boundary;
grain size;
microstructure;
40.
MEMS microdisplays: overview and markets
机译:
MEMS MicroDisplays:概述和市场
作者:
Jeremie Bouchaud
;
Olivier Nowak
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
41.
The influences of thickness on piezoresistive properties of poly-Si nanofilms
机译:
厚度对多Si纳米叶片压阻性能的影响
作者:
Xiaowei Liu
;
Rongyan Chuai
;
Minghao Song
;
Huiyan Pan
;
Xiaowei Xu
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
poly-Si;
nanofilm;
piezoresistive effect;
tunnel effect;
piezoresistive model;
gauge factor;
film thickness;
grain boundary;
grain size;
microstructure;
42.
Tunable InP/air MOEMS filter with record breaking selectivity
机译:
可调谐INP / AIR MOEMS过滤器,具有记录断开选择性
作者:
Michel Garrigues
;
Je Danglot
;
Jean-Louis Leclercq
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Microelectromechanical devices;
Fabry-Perot interferometers;
optical filters;
tunable filters;
micromachining;
43.
Tunable InP/air MOEMS filter with record breaking selectivity
机译:
可调谐INP / AIR MOEMS过滤器,具有记录断开选择性
作者:
Michel Garrigues
;
Jerome Danglot
;
Jean-Louis Leclercq
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
microelectromechanical devices;
fabry-perot interferometers;
optical filters;
tunable filters;
micromachining;
44.
Study of capillary electrophoresis chip with Conductivity detection
机译:
电导检测毛细管电泳芯片的研究
作者:
WANG Wei
;
TIAN Li
;
LIU Xiao-wei
;
XUAAN Lei
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
microchip electrophoresis;
conductivity detection;
PDMS;
MEMS;
μ-TAS;
45.
The PDMS micro valve driven by PZT piezoelectric actuator on the silicon wafer
机译:
PDMS微阀由PZT压电致动器驱动的硅晶片上
作者:
L. Tian
;
W. Wang
;
X.W Liu
;
X.L. Wang
;
Zh.Y Bao
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
microvalve;
PDMS;
PZT;
MEMS;
screening pringting;
soft lithography;
46.
The PDMS micro valve driven by PZT piezoelectric actuator on the silicon wafer
机译:
PDMS微阀由PZT压电致动器驱动的硅晶片上
作者:
L. Tian
;
W. Wang
;
X. W.Liu
;
X. L. Wang
;
Zh. Y. Bao
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
microvalve;
PDMS;
PZT;
MEMS;
screening pringting;
soft lithography;
47.
PV Solar Electricity: Status and Future
机译:
光伏太阳能电力:现状和未来
作者:
Winfried Hoffmann
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
48.
Integrating photonic and microfluidic structures on a device fabricated using proton beam writing
机译:
将光子和微流体结构集成在使用质子梁写入制造的装置上
作者:
A. A. Bettiol
;
E.J. Teo
;
C.N.B. Udalagama
;
S. Venugopal Rao
;
J.A. van Kan
;
P. G. Shao
;
F. Watt
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
proton beam writing;
glass;
waveguides;
micronuidics;
49.
Performance research of a silicon-based micro direct methanol fuel cell
机译:
基于硅基微直接甲醇燃料电池的性能研究
作者:
Yufeng Zhang
;
Xiaowei Liu
;
Chunguang Suo
;
Xuebin Lu
;
Hongyang Xia
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
micro direct methanol fuel;
MEMS;
asymmetric grid;
flow field;
spiral;
50.
Optical probing of nano-electromechanical systems (NEMS)
机译:
纳米机电系统(NEMS)的光学探测
作者:
K. L. Ekinci
;
D. Karabacak
;
T. Kouh
;
D. H. Kim
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
nanoelectromechanical systems;
optical interfermetry;
transducer;
51.
Tunable Bragg grating based on MOEMS technology
机译:
基于MoEMS技术的可调布拉格光栅
作者:
Rafa Kasztelanic
;
Arkadiusz Zychewicz
;
Ryszard Buczyński
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Bragg grating;
tunable bragg grating;
tunable modulator;
fiber Gragg grating;
MEMS;
MOEMS;
52.
Tunable Bragg grating based on MOEMS technology
机译:
基于MoEMS技术的可调布拉格光栅
作者:
Rafal Kasztelanic
;
Arkadiusz Zychewicz
;
Ryszard Buczynski
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
bragg grating;
tunable bragg grating;
tunable modulator;
fiber bragg grating;
MEMS;
MOEMS;
53.
MEMS-based micro direct methanol fuel cell using microfabrication technology
机译:
基于MEMS的微生物技术的微直接甲醇燃料电池
作者:
Xiaowei Liu
;
Chunguang Suo
;
Yufeng Zhang
;
Xuebin Lu
;
Hongyang Xia
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
micro direct methanol fuel cell;
MEMS;
microfabrication;
porous silicon;
electro-catalytic electrodes;
54.
Compact triangulation sensor realized by bending wafer with metal hinge
机译:
紧凑的三角测量传感器通过用金属铰链弯曲晶圆来实现
作者:
Minoru Sasaki
;
Satoshi Endou
;
Masayuki Fujishima
;
Kazuhiro Hane
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
triangulation distance sensor;
wafer-bending;
prealignment;
three-dimensional structure;
55.
MEMS-based micro direct methanol fuel cell using microfabrication technology
机译:
基于MEMS的微生物技术的微直接甲醇燃料电池
作者:
Xiaowei Liu
;
Chunguang Suo
;
Yufeng Zhang
;
Xuebin Lu
;
Hongyang Xia
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
micro direct methanol fuel cell;
MEMS;
microfabrication;
porous silicon;
electro-catalytic electrodes;
56.
The US National Nanotechnology Infrastructure Network and Support of Photonics Research and Development
机译:
美国国家纳米技术基础设施网络与光子学研发的支持
作者:
Sandip Tiwari
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
nanotechnology;
photonics;
fabrication;
synthesis;
inter-disciplinary research;
57.
Compact and stress-released piston tip-tilt mirror
机译:
紧凑且应力释放的活塞尖端倾斜镜
作者:
W. Noell
;
T. Overstolz
;
R. Stanley
;
N. F. de Rooij
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
Optical MEMS;
Tip-Tilt actuator;
vertical combdrive;
micromirror;
optical scanner;
cavity tuning;
58.
COMPACT AND STRESS-RELEASED PISTON TIP-TILT MIRROR
机译:
紧凑且应力释放的活塞尖端倾斜镜
作者:
W. Noell
;
T. Overstolz
;
R. Stanley
;
N. F. de Rooij
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
;
SPIE Europe
;
Conseil General Du Bas-Rhin(FR)
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS and Micromachining》
|
2006年
关键词:
optical MEMS;
tip-tilt actuator;
vertical combdrive;
micromirror;
optical scanner;
cavity tuning;
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