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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >An ultra-precision XY/spl theta//sub Z/ piezo-micropositioner. I. Design and analysis
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An ultra-precision XY/spl theta//sub Z/ piezo-micropositioner. I. Design and analysis

机译：超精密XY / spl theta // sub Z /压电微型定位器。一，设计与分析

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A novel three degree-of-freedom micropositioner was developed for deep ultraviolet lithography applications. The design of the micropositioner utilizes the monolithic flexural mechanism with built-in multilayer piezoelectric actuators and sensors to achieve translations in the X- and Y-axes and rotation in the /spl theta//sub Z/-axis. The compact design aims at high resolution, high stiffness, and extremely low crosstalk interference. Parametric analyses of harmonic and forced vibrations are conducted to solve the derived dynamic models for the near optimum geometry of the micropositioner. Furthermore, the error budget analysis is conducted to minimize the effects of the geometric tolerance, material variation, and hysteresis errors.
机译：一种新型的三自由度微型定位器被开发用于深紫外光刻应用。微定位器的设计利用整体弯曲机制以及内置的多层压电致动器和传感器来实现X轴和Y轴的平移以及/ spl theta // sub Z /轴的旋转。紧凑的设计旨在实现高分辨率，高刚度和极低的串扰干扰。进行了谐波和强制振动的参数分析，以解决派生的微定位器最佳几何形状的动力学模型。此外，进行误差预算分析以最小化几何公差，材料变化和磁滞误差的影响。

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