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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >An ultra-precision XY/spl Theta//sub Z/ piezo-micropositioner. II. Experiment and performance
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An ultra-precision XY/spl Theta//sub Z/ piezo-micropositioner. II. Experiment and performance

机译：超精密XY / spl Theta // sub Z /压电微型定位器。二。实验与表现

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For pt I see ibid., vol. 46, no. 4 (July 1999). The performance of an ultra-precision three dimensional micropositioner using the built-in multilayer piezoelectric actuators and sensors is presented. The compact design utilizes the monolithic mechanism to achieve translation in the X- and Y-axes and rotation in the /spl theta//sub Z/ axis with high stiffness and high damping. Hysteresis, nonlinearity, and drift of piezoelectric effects are improved by incorporating the sensors in a feedback control. Experiments demonstrate that the micropositioner is capable of a 10 nm resolution over the travel range of 17.8 /spl mu/m in the X- and Y-axes and a 0.15 /spl mu/rad resolution over the range of 585 /spl mu/rad in the /spl theta//sub Z/ axis. The crossaxis interferences are within 1.14% of the full range. The results agree well with predictions by theoretical models.
机译：对于pt，我见同上，第一卷。 46号4（1999年7月）。介绍了使用内置的多层压电致动器和传感器的超精密三维微型定位器的性能。紧凑的设计利用单片机构实现了X轴和Y轴的平移以及/ spl theta // sub Z /轴的旋转，并具有高刚度和高阻尼。通过将传感器纳入反馈控制，可以改善压电效应的磁滞，非线性和漂移。实验表明，微型定位器在X轴和Y轴的行程范围17.8 / spl mu / m时具有10 nm的分辨率，在585 / spl mu / rad的范围内具有0.15 / spl mu / rad的分辨率。在/ spl theta // sub Z /轴中。横轴干扰在整个范围的1.14％之内。结果与理论模型的预测非常吻合。

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