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机译:基于多速率前馈控制的完美跟踪控制方法的大规模平台高速高精度跟踪控制研究
Precision Equip. Co., Nikon Corp., Yokohama, Japan;
High precision; high speed; motion control systems; positioning table;
机译:基于多速率前馈控制的完美跟踪控制方法
机译:基于多型前馈控制的完善跟踪控制方法
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机译:基于多型前馈控制的完美跟踪控制大规模阶段高速高精度跟踪控制研究
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