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首页> 外文期刊>Japanese Journal of Applied Physics. Part 1, Regular Papers & Short Notes >Design and Evaluation of a Solid Immersion Mirror Using a Dielectric Layer Stack for Near-Field Optical Recording
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Design and Evaluation of a Solid Immersion Mirror Using a Dielectric Layer Stack for Near-Field Optical Recording

机译：使用介电层堆叠的近距离光学记录固体浸没镜的设计和评估

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A new solid immersion mirror (SIM) with high optical efficiency utilizing angular dependence of a dielectric layer stack for near-field optical recording is proposed. The new SIM with a dielectric layer stack was designed, fabricated, and evaluated. The SIM had both convex and aspherical surfaces with a dielectric multilayer stack on one surface and an aluminum reflection coating on the other. The front and rear surface error rms values of the fabricated SIM were 43 mλ (λ = 405 nm) and 90 mλ, respectively. The rms error of the wavefront aberration of the SIM was 150 mλ.
机译：提出了一种新的具有高光学效率的固体浸没镜（SIM），其利用电介质层堆叠的角度依赖性进行近场光学记录。设计，制造和评估了具有介电层堆叠的新型SIM。 SIM具有凸面和非球面表面，在一个表面上具有电介质多层堆叠，在另一个表面上具有铝反射涂层。制成的SIM卡的正面和背面误差rms值分别为43mλ（λ= 405 nm）和90mλ。 SIM的波前像差的均方根误差为150mλ。

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