...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>日本機械学会誌 >鋼のスパッタエッチングによる円錐状表面突起物の形成
【24h】

鋼のスパッタエッチングによる円錐状表面突起物の形成

机译：通过钢的溅射蚀刻形成圆锥形表面突起

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

最近，表面の形状をミクロ・ナノレベルで制御して新しい機能性を得る試みが盛んに行われている．ここでは，鋼のスパッタエッチンクにより形成される直径100nm～数μmの円錐状突起を紹介する．現段階では，これらの突起物の寸法と分布は不ぞろいであり，LSI製造技術を駆使して開発されているディスプレイ用のコールドエミッターなど，個々の突起の均一性が必要な用途には利用できないが，大量の突起を安価に製造できる特徴があり，寸法や分布の多少のばらつきが許される場合には利用価値があると思われる．
机译：近来，已经进行了许多尝试以通过在微米/纳米水平上控制表面形状来获得新的功能。在这里，我们将介绍通过钢溅射蚀刻形成的直径为100 nm到几μm的圆锥形突起。在此阶段，这些突起的尺寸和分布不均匀，并且它们不能用于需要单个突起均匀的应用中，例如通过充分利用LSI制造技术开发的显示器的冷发射器。其特征在于可以以低成本制造大量的突起，并且如果允许尺寸和分布的一些变化，则认为是有用的。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号