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BioMEMS, Theory and Practice of MEMS/NEMS, and Sensors

机译:生物MEMS,MEMS / NEMS的理论与实践以及传感器

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摘要

Researchers in the theory, design, fabrication, and characterization of MEMS/NEMS, bioMEMS, and nanotechnolo-gies have been making tremendous progress in recent years. In this special section of the Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3), we are pleased to present selected papers from the IEEE International Conference on Nano/Molecular Engineering & Medicine (IEEE-NANOMED) held October 2009 in Taiwan.
机译:近年来,有关MEMS / NEMS,生物MEMS和纳米技术的理论,设计,制造和表征的研究人员取得了长足的进步。在《微/纳米光刻,MEMS和MOEMS杂志(JM3)》的这一特别栏目中,我们很高兴介绍2009年10月在台湾举行的IEEE纳米/分子工程与医学国际会议(IEEE-NANOMED)的部分论文。

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