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首页> 外文期刊>Journal of Vacuum Science & Technology >Inductively coupled plasma etching of high aspect ratio two-dimensional photonic crystals in Al-rich AIGaAs and AIGaAsSb
【24h】

Inductively coupled plasma etching of high aspect ratio two-dimensional photonic crystals in Al-rich AIGaAs and AIGaAsSb

机译：富铝AIGaAs和AIGaAsSb中高纵横比二维光子晶体的电感耦合等离子体刻蚀

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Planar two-dimensional photonic crystals are key tools for the development of advanced optoelectronic devices. However, their practical realization often requires deep etching of air holes with high aspect ratio. In this article, the authors report on a time-multiplexed inductively coupled plasma reactive ion etching technique, allowing deep etching of AIGaAs and AIGaAsSb heterostructures. Air holes of 130 nm wide and 1.85 μm deep have been realized in AIGaAs heterostructures with up to 60% Al.
机译：平面二维光子晶体是开发先进光电器件的关键工具。然而，它们的实际实现经常需要深蚀刻具有高深宽比的气孔。在本文中，作者报告了一种时分多路的电感耦合等离子体反应离子刻蚀技术，该技术可以对AIGaAs和AIGaAsSb异质结构进行深刻蚀。在具有高达60％的Al的AIGaAs异质结构中已经实现了130 nm宽，1.85μm深的气孔。

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  • 来源
    《Journal of Vacuum Science & Technology》 |2011年第2期|p.021006-1-021006-7|共7页
  • 作者

    A. Larrue; D. Belharet; P. Dubreuil; S. Bonnefont; O. Gauthier-Lafaye; A. Monmayrant; F. Lozes-Dupuy; S. Moumdji;

  • 作者单位

    CNRS LAAS 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France Universite de Toulouse UPS, INSA, INP, ISAE UTI, UTM, LAAS F-31077 Toulouse Cedex 4, France;

    CNRS LAAS 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France Universite de Toulouse UPS, INSA, INP, ISAE UTI, UTM, LAAS F-31077 Toulouse Cedex 4, France;

    CNRS LAAS 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France Universite de Toulouse UPS, INSA, INP, ISAE UTI, UTM, LAAS F-31077 Toulouse Cedex 4, France;

    CNRS LAAS 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France Universite de Toulouse UPS, INSA, INP, ISAE UTI, UTM, LAAS F-31077 Toulouse Cedex 4, France;

    CNRS LAAS 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France Universite de Toulouse UPS, INSA, INP, ISAE UTI, UTM, LAAS F-31077 Toulouse Cedex 4, France;

    CNRS LAAS 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France Universite de Toulouse UPS, INSA, INP, ISAE UTI, UTM, LAAS F-31077 Toulouse Cedex 4, France;

    CNRS LAAS 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France Universite de Toulouse UPS, INSA, INP, ISAE UTI, UTM, LAAS F-31077 Toulouse Cedex 4, France;

    CNRS LAAS 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France Universite de Toulouse UPS, INSA, INP, ISAE UTI, UTM, LAAS F-31077 Toulouse Cedex 4, France IES, UMR CNRS 5214, CC067, Universite Montpellier 2, Place Eugene Bataillon, 34095 Montpellier cedex 05, France;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
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  • 正文语种 eng
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