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Tunable optofluidic nano-Bragg microcavity filter

机译：可调光流体纳米-布拉格微腔滤池

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摘要

An optofluidic nano-Bragg microcavity filter is designed using three-dimensional finite difference time domain technique and fabricated using electron-beam lithography and reactive ion etching techniques on a silicon-on-insulator (SOI) material. Continuous filter tuning is possible via small refractive index changes by introducing different fluids. An index change of 0.03 corresponds to a peak resonance wavelength shift of approximately 1 nm. The SOI chip is also integrated with a polydimethlysiloxane microfluidic chip for the fluid delivery.
机译：利用三维有限差分时域技术设计了一种光流体纳米Bragg微腔滤波器，并利用电子束光刻和反应离子刻蚀技术在绝缘体上硅（SOI）材料上制造了该器件。通过引入不同的流体，可以通过较小的折射率变化来连续调节滤光片。折射率变化为0.03对应于大约1 nm的峰值共振波长偏移。 SOI芯片还与聚二甲基硅氧烷微流体芯片集成在一起，用于流体输送。

著录项

  • 来源
    《Journal of Vacuum Science & Technology》 |2010年第6期|p.C6O8-C6O10|共3页
  • 作者

    A. S. Jugessur; J. Dou; J. S. Aitchison;

  • 作者单位

    Emerging Communications Technology Institute, Faculty of Applied Science and Engineering, University of Toronto, 10 King's College Road, Toronto, Ontario M5S3G4, Canada;

    Emerging Communications Technology Institute, Faculty of Applied Science and Engineering, University of Toronto, 10 King's College Road, Toronto, Ontario M5S3G4, Canada;

    Emerging Communications Technology Institute, Faculty of Applied Science and Engineering, University of Toronto, 10 King's College Road, Toronto, Ontario M5S3G4, Canada;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
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