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【24h】

Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges

机译：通过在金属铰链处弯曲带有光学元件的硅晶圆实现的紧凑型三角测量传感器

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A triangulation distance sensor is constructed bending the wafer with metal hinges. On the Si wafer, elements are pre-aligned at the planer condition using the photolithography. The position sensitive detector (PSD), mirror, and alignment pit for a ball lens are prepared. 3-sensor array is integrated in 20 × l7 × 10 mm~3 size. Compared with our previous study using polymer, the metal hinge stabilizes the long-term performance and the process. Optical elements including LD chip are all included on the wafer. The demonstrated measurement range is 18-40 mm.
机译：三角测量距离传感器构造成用金属铰链弯曲晶片。在硅晶片上，使用光刻在平面条件下将元件预对准。准备用于球镜的位置敏感检测器（PSD），反射镜和对准凹坑。 3传感器阵列集成为20×l7×10 mm〜3尺寸。与我们先前使用聚合物的研究相比，金属铰链可稳定长期性能和工艺。包括LD芯片在内的光学元件都包含在晶片上。演示的测量范围是18-40 mm。

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