5nm精度のアクチュエータ40cm／秒で高速駆動

大下  淳一

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5nm精度のアクチュエータ40cm／秒で高速駆動

机译：以5厘米的精密执行器高速驱动40厘米/秒

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アクチュエータの静止位置を5nmの精度で制御しつつ，最高速度40cm／秒で駆動する。プローブ型顕微鏡に求められる原子レベルの位置決め精度と，大型液晶パネル向け装置に求められる高いスループットを両立するこのような技術を，日立製作所と静岡理工科大学のグループが開発した。半導体やフラットパネル・ディスプレイ（FPD）分野の製造・検査装置のステージ駆動に使うと，処理速度を高められる。しかも，駆動部のコストも半減する。

机译：它以40厘米/秒的最大速度驱动，同时以5 nm的精度控制执行器的静止位置。日立和静冈工业大学已经开发了一种技术，该技术既可以实现探针显微镜所需的原子级定位精度，又可以实现大型LCD面板所需的高通量。通过使用它来驱动半导体和平板显示器（FPD）领域中的制造和检查设备阶段，可以提高处理速度。而且，驱动单元的成本减半。

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来源
《日経マイクロデバイス》 |2007年第265期|5|共1页
作者
大下淳一;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词

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