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Diffuse-interface model for nanopatterning induced by self-sustained ion-etch masking

机译:自持离子刻蚀掩模形成的纳米图案扩散界面模型

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摘要

We construct a simple phenomenological diffuse-interface model for composition-induced nanopatterning during ion sputtering of alloys. In simulations, this model reproduces without difficulties the high-aspect-ratio structures and tilted pillars observed in experiments. We investigate the time evolution of the pillar height, both by simulations and by in situ ellipsometry. The analysis of the simulation results yields a good understanding of the transitions between different growth regimes and supports the role of segregation in the pattern-formation process.
机译:我们构建了一个简单的现象学扩散界面模型,用于合金离子溅射过程中的成分诱导纳米图案化。在仿真中,该模型毫不费力地再现了实验中观察到的高纵横比结构和倾斜的柱子。我们通过模拟和原位椭偏法研究了立柱高度的时间演变。对模拟结果的分析可以很好地理解不同生长方式之间的过渡,并支持隔离在图案形成过程中的作用。

著录项

  • 来源
    《Physical review》 |2010年第16期|161401.1-161401.4|共4页
  • 作者单位

    Surface du Verre et Interfaces, UMR 125 CNRS/Saint-Gobain, 93303 Aubervilliers, France;

    rnSurface du Verre et Interfaces, UMR 125 CNRS/Saint-Gobain, 93303 Aubervilliers, France;

    rnPhysics Department, Norwegian University of Science and Technology (NTNU), NO-7491 Trondheim, Norway;

    rnPhysics Department, Norwegian University of Science and Technology (NTNU), NO-7491 Trondheim, Norway;

    rnPhysique de la Matiere Condensee, Ecole Polytechnique, CNRS, 91128 Palaiseau, France;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces; nanoscale pattern formation;

    机译:原子;分子和离子束的撞击以及与表面的相互作用;纳米图案形成;

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