纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究

著录项

• 来源
  《中国机械工程》 |2005年第z1期|391-393|共3页
• 作者

  王英; 杨明来; 张效岩; 蔡炳初; 徐东; 张亚非;

  展开▼
• 作者单位

  上海交通大学,微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  保定天河电子技术有限公司,保定,071051;

  上海交通大学,微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  上海交通大学,微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  上海交通大学,微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  上海交通大学,微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光刻、掩膜;
• 关键词

  LB膜; 纳米粒子; 掩模; 纳米刻蚀;