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プラズマ•イオンプロセスによる 薄膜の製造とトライボロジー

机译:等离子体离子工艺制造薄膜和摩擦学

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摘要

DLC(Diamond-Like Carbon)膜やダイヤモンド膜等のカーボン系硬質膜は,高硬度であるため高い耐摩耗性が期待される.さらに,その表面構造の多様性により低せん断強度の軟質層の形成"や水素分子や水分子の吸着による表面エネルギーの低下による超低摩擦の実現が期待でき る.そのような耐摩耗•超低摩擦特性のさらなる追求のために,窒素を含有した非晶質窒化炭素膜(a-CNx膜)のトライボロジー特性の研究が行われている.また,従来の DLC膜の製造技術面での課題に取り組むために,マイク口波を利用した高密度プラズマ支援成膜の研究が行われている.
机译:碳基硬质薄膜,例如DLC(钻石状碳)薄膜和金刚石薄膜,由于其高硬度而具有很高的耐磨性,此外,由于表面结构的多样性,形成了剪切强度低的软质层。 “人们期望通过降低氢分子和水分子的吸附而降低表面能来实现超低摩擦。为了进一步追求这种耐磨性和超低摩擦性能,含氮无定形氮化对碳膜(a-CNx膜)的摩擦学特性进行了研究,此外,为了解决DLC膜的传统制造技术中的问题,进行了利用麦克风口波的高密度等离子体辅助膜的形成。研究正在进行中。

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