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等离子体发生器、用于等离子体发生器的旋转电极的制造方法、执行基板的等离子体处理的方法、以及采用等离子体形成具有混合结构的薄膜的方法

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根据本发明实施例的等离子体发生器设置为通过防止等离子体到电弧的转变以近大气压的压力产生高密度和稳定的等离子体。该等离子体发生器包括用于设置基板的板状下电极；以及在板状下电极上的圆柱旋转电极，其中圆柱旋转电极包括导电主体和绝缘屏蔽层，导电主体连接到电源且包括在导电主体的外圆周表面上的多个毛细管单元；绝缘屏蔽层由绝缘材料或电介质材料制成，暴露多个毛细管单元的下表面，并且屏蔽其它部分。

著录项

公开/公告号CN104160790A

专利类型发明专利
公开/公告日2014-11-19

原文格式PDF
申请/专利权人韩国机械研究院;
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申请/专利号CN201280050231.2
发明设计人南基锡;权正大;郑容秀;李建焕;尹政钦;李性薰;金东好;姜宰煜;朴圣奎;金昌洙;
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申请日2012-08-10
分类号H05H1/34;C23C16/50;H01L21/205;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人焦玉恒
地址韩国大田市
入库时间 2023-12-17 03:49:25

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-12-07

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H05H1/34 申请公布日:20141119 申请日:20120810

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-12-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/34 申请日:20120810

实质审查的生效
2014-11-19

公开

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